製品ディテール
幅広い薬液適合性と優れた耐薬品性。PFAライニングされたバルブボディとノーマルクローズのステンレススチール製空圧アクチュエータを組み合わせており、ストレートスルー流路を採用することでデッドスペースを低減しています。この設計により、媒体の滞留を排除し、汚染リスクを軽減します。PFAライニングは優れた耐食性と極めて低いイオン汚染を提供します。
堅牢な構造、ノーマルクローズ、最小限のデッドスペース、高純度、優れた耐食性、長寿命。オプションでリミットスイッチ付き。
Danporeは、フッ素樹脂配管およびライニングエンジニアリングに特化しています。半導体製造装置内のCDS(薬液供給システム)における薬液搬送、およびウェットプロセス向けの超純流体配管システム向けのソリューションを提供します。また、当社の製品は、ディスプレイパネルや太陽光発電のウェット生産ラインでも広く採用されています。
製品名: 高純度PFAライニング空気作動ダイヤフラムバルブ
サイズ:DN20~DN50構造材質:
ボディ/接液部:高純度PFA
ハウジングおよびアクチュエータ:ステンレススチール316L/304
ダイヤフラム: PTFE/EPDM
使用温度範囲: -20℃~+150℃
使用圧力範囲: 1.0MPa (温度20℃の条件下)