製品ディテール
幅広い薬液適合性と優れた耐薬品性。PFAライニングされたバルブボディに、ノーマルクローズ型ステンレス鋼製空気圧アクチュエータを組み合わせています。このバルブはストレートスルー流路を採用し、デッドスペースを低減。これにより、媒体の滞留を防ぎ、汚染リスクを軽減します。PFAライニングは優れた耐食性と極めて低いイオン汚染を実現します。
堅牢な構造、ノーマルクローズ、最小限のデッドスペース、高純度、優れた耐食性、長寿命。オプションでリミットスイッチ付き。
Danporeは、フッ素樹脂流体配管およびライニングエンジニアリングに特化しています。半導体製造装置内のCDS（薬液供給システム）における薬液輸送、ならびにウェットプロセス用途向けの超高純度流体配管システム向けのソリューションを提供します。また、当社の製品は、ディスプレイパネルや太陽電池のウェット生産ラインでも広く採用されています。
製品名: 高純度PFAライニング空気作動ダイヤフラムバルブ
サイズ：DN20～DN50構成材料:
ボディ/接液部：高純度PFA
ハウジングおよびアクチュエータ：ステンレス鋼316L/304
ダイヤフラム: PTFE/EPDM
使用温度範囲: -20～+150℃
使用圧力範囲: 1.0MPa (温度20℃の条件下)